Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metallic Targets

by María Ángela Pampillón Arce

Cham: Springer International Publishing, Imprint: Springer, 2017

Online Monographie, Elektronische Ressource - 1 Online-Ressource (XXIII, 164 p. 116 illus., 6 illus. in color)

Zugriff:

Springer Physics & Astronomy 2017 (Volltext)

Titel:	Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metallic Targets
Verantwortlichkeitsangabe:	by María Ángela Pampillón Arce
Autor/in / Beteiligte Person:	Pampillón Arce, María Ángela
Lokaler Link:	Springer Physics & Astronomy 2017 (Volltext)
Link:	Volltext
Verwandtes Werk:	Springer Theses, Recognizing Outstanding Ph.D. Research
Veröffentlichung:	Cham: Springer International Publishing, Imprint: Springer, 2017
Medientyp:	Monographie
Datenträgertyp:	Elektronische Ressource
Umfang:	1 Online-Ressource (XXIII, 164 p. 116 illus., 6 illus. in color)
ISBN:	9783319666075
DOI:	10.1007/978-3-319-66607-5
Schlagwort:	Physics Surfaces (Physics) Interfaces (Physical sciences) Thin films Electronic circuits Nanotechnology
Sonstiges:	Online-Ressource [Kann nicht per Fernleihe bestellt werden!] Gesamttitelangabe: Springer Theses, Recognizing Outstanding Ph.D. Research Erscheint auch als: Druck-Ausgabe, ISBN 9783319666068 hbz Verbund-ID: HT019491657

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