Laser Heat-Mode Lithography: Principle and Methods

by Jingsong Wei

1st ed. 2019. - Singapore: Springer Singapore, Imprint: Springer, 2019

Online Monographie, Elektronische Ressource - 1 Online-Ressource (XIII, 208 p. 182 illus., 160 illus. in color)

Zugriff:

Springer Physics & Astronomy 2019 (Volltext)

Titel:	Laser Heat-Mode Lithography: Principle and Methods
Verantwortlichkeitsangabe:	by Jingsong Wei
Autor/in / Beteiligte Person:	Wei, Jingsong
Lokaler Link:	Springer Physics & Astronomy 2019 (Volltext)
Link:	Volltext
Verwandtes Werk:	Springer Series in Materials Science
Ausgabe:	1st ed. 2019
Veröffentlichung:	Singapore: Springer Singapore, Imprint: Springer, 2019
Medientyp:	Monographie
Datenträgertyp:	Elektronische Ressource
Umfang:	1 Online-Ressource (XIII, 208 p. 182 illus., 160 illus. in color)
ISBN:	9789811509438
DOI:	10.1007/978-981-15-0943-8
Schlagwort:	Surfaces (Physics) Interfaces (Physical sciences) Thin films Lasers Photonics Microwaves Optical engineering Optical materials Electronic materials
Sonstiges:	Online-Ressource [Kann nicht per Fernleihe bestellt werden!] Gesamttitelangabe: Springer Series in Materials Science ; 291 Printed edition: 9789811509421 Printed edition: 9789811509445 Printed edition: 9789811509452 hbz Verbund-ID: HT020300363

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