Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures

Kahrizi, Mojtaba

IntechOpen, 2012

Online Monographie, Elektronische Ressource - 1 electronic resource (314 pages)

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Titel:	Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures
Autor/in / Beteiligte Person:	Kahrizi, Mojtaba
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Veröffentlichung:	IntechOpen, 2012
Medientyp:	Monographie
Datenträgertyp:	Elektronische Ressource
Umfang:	1 electronic resource (314 pages)
ISBN:	9789535160953
Schlagwort:	Chemistry Analytical chemistry
Sonstiges:	Online-Ressource [Kann nicht per Fernleihe bestellt werden!] English hbz Verbund-ID: HT021045660

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