Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors
1st ed. 2022. - Cham: Springer International Publishing, Imprint: Springer, 2022
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Sammelwerk, Elektronische Ressource
- 1 Online-Ressource (VI, 312 p. 167 illus., 157 illus. in color)
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Titel: |
Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors
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Verantwortlichkeitsangabe: | edited by Zhuoqing Yang |
Autor/in / Beteiligte Person: | Yang, Zhuoqing |
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Ausgabe: | 1st ed. 2022 |
Veröffentlichung: | Cham: Springer International Publishing, Imprint: Springer, 2022 |
Medientyp: | Sammelwerk |
Datenträgertyp: | Elektronische Ressource |
Umfang: | 1 Online-Ressource (VI, 312 p. 167 illus., 157 illus. in color) |
ISBN: | 9783030797492 |
DOI: | 10.1007/978-3-030-79749-2 |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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